工業機器人技術功用有哪些?工業機器人是面向工業領域的多關節機械手或多自由度的機器設備，它能自動執行工作，是靠本身動力和控制能力來實現各種功用的一種機器。

  (1)潔凈光滑技術：通過采用負壓抑塵結構和非揮發性光滑脂，實現對環境無顆粒污染，滿意潔凈要求。

  (2)高速平穩控制技術：通過軌道優化和提高關節伺服性能，實現潔凈搬運的平穩性。

  (3)控制器的小型化技術：根據潔凈室制作和運營成本高，通過控制器小型化技術減小潔凈機器人的占用空間。

  (4)檢測技術：通過光學傳感器，能夠通過機器人的掃描，獲得卡匣中晶圓有無缺片、傾斜等信息。